该装置由汽化炉、分解炉、重合室这3个部分组成，在重合室中放置对象物品，在汽化炉中放置Parylene (粉体)。
在装置内进行减压操作后，升高汽化炉的温度（120~180℃），使Parylene升华。 通过真空泵将该气体引导至蒸汽粘合室，通过高温（650~700℃）分解炉后，生成热分解单体。该单体在室温状态下的重合室内与对象物品相接触，其含有的热量被传导后在对象物品的表面进行聚合，形成高分子量的聚对二树脂膜。
潮湿、腐蚀、进水是造成电子产品寿命降低或损坏的重要因素，在电子产品表面涂敷防护涂层，是提高电子产品使用寿命的重要方法之一。
目前大多数电子产品采用三防漆和派瑞林涂层实现防水与防护，然而由于三防漆和派瑞林涂层相对较厚，涂敷于电子产品表面后影响产品的外观、导电性、散热性和信号传输性。因此如何利用纳米级别涂层替代三防漆和派瑞林，在保证防水、防护性能的同时，尽量减少其对产品的外观、导电性、散热性和信号传输性的影响，是电子产品防水涂层研发过程中需要解决的关键技术问题。
液体涂层材料常见的有聚氨酯、环氧树脂、UV胶、有机硅、类。这些液体涂层以喷涂或者人工刷的方式在工件的表面形成一层保护层，在此过程中容易使细小的孔隙堵塞、产生气泡、厚度较厚、厚度不均匀等情况的出现，从而不能更好的达到三防的效果。
派瑞林涂层属于CVD的沉积方式，在真空状态下，由活性小分子在基材表面“生长”出敷形的聚合物薄膜涂层,它能涂敷到各种形状的表面,包括尖锐的棱边，细缝，号称“无孔不入”的深入裂缝里和内表面。涂层厚度均匀、同形、致密无、透明无应力、不含助剂、不损伤工件、有优异的电绝缘性和防护性，从而使被涂敷的产品更有效的防潮、防霉（零级）、防腐、防盐雾。